PASS BOX
下載PDF檔案
 
CLEAN BENCH
下載PDF檔案
 
AIR SHOWE
下載PDF檔案
     
 
CLEAN BOOTH
下載PDF檔案
 
 
 清淨室空調設備如表 》
     
 
設 備 功 能
 冰水機  製造6~7度冰水
 冰水泵  將冰水機之冰水送至空調箱之冷卻管排用
 冷卻泵  將冷卻水塔隻冷卻水送至冰水機冷卻用
 冷卻水塔  冰水機冷凝器之冷卻用
 外氣空調箱  處理外氣負荷(附初、中級濾網)
 空調箱  含初、中級濾網,供冷卻、除濕和出及過濾用
 加熱設備  設於空調箱內,使用電熱、熱水或蒸汽
 加濕設備  設於空調箱內,適用蒸汽或蒸發盤加濕器
 高效濾網組  設於無塵室內支出風口使用
 風扇過濾組合  FAN-FILTER UNIT(FFU)
 控制設備  控制溫溼度,室壓和外氣量等