無塵/無菌室標準規模與分類
   
   2.無塵室規範:如表《二》
   無塵室工程乃依照美國聯邦標準FED-STD-209E設計,規範如下表:
 

Class Name

Class limits
0.1 μm
0.2 μm
0.3 μm
0.5 μm
5 μm
Volume units
Volume units
Volume units
Volume units
Volume units
SI
English
(m)(ft)
(m)(ft)
(m)(ft)
(m)(ft)
(m)(ft)
M1
 
350  9.91
75.7 2.14
 30.9 0.875

10.0  0.283

-    -
M1.5
1
1240  35.0
  265 7.5
106  3.00
35.3  1.00
-    -
M2
 
3500  99.1
757 21.4
309 8.75
100  2.83
-    -
M2.5
10

12400  350

2650 75
1060 30.0
353 10.0
-    -
M3
 
35000  991
  7570 214
3090 87.5
1000 28.3
-    -
M3.5
100
-    -
 26500 750
10600 300
3530 100
-    -
M4
    -    -  75700 214
30900  875
10000 283
-    -
M4.5
1000
-    -
-    -
-    -
35300 1000
247 7.00
M5
 
-    -
-    -
-    -
100000 2830
618 17.5
M5.5
10000
-    -
-    -
-    -
353000 10000
2470 70.0
M6
 
-    -
-    -
-    -
1000000 28300
6180 175
M6.5
10000
-    -
-    -
-    -
3530000 100000
24700 700
M7
 
-    -
-    -
-    -
10000000 283000
61800 1750
   
  無塵室規範:如表《二-1》 
   ISO/TC209規範如下表:
 

等級

每立方公尺的粒子數
0.1 μm
0.2 μm
0.3 μm
0.5 μm
1 μm
5 μm
ISO1
10
2
-
-
-
-
ISO2
100
24
10
4
-
-
ISO3
1000
237
102
35
8
-
ISO4
10000
2370
1020
352
83
-
ISO5
100000
23700
10200
3520
832
29
ISO6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
ISO7
-
-
-
352000
83200
2930
ISO8
-
-
-
3252000
832000
29300
ISO9
-
-
-
35200000
8320000
293000
   
表《二-1》